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ESD静电对电子半导体器件的影响 时间:2023-01-03 编辑: 管理员

近年来,随着我国经济的快速发展,我国信息产业的技术水平不断提高,电子半导体广泛应用于各个领域。ESD也是电子半导体电子器件的主要威胁。ESD静电严重影响了电子半导体电子器件的质量,威胁着器件的整体工作。为了保护电子器件,需要从设计、生产、运输等角度对电子器件进行静电保护措施。

一、静电的产生
当电荷聚集在某个物体上或表面时就形成了静电,静电是一种处于静止状态的电荷。电荷分为正电荷和负电荷两种,也就是说静电现象也分为两种即正静电和负静电。当正电荷聚集在某个物体上时就形成了正静电,当负电荷聚集在某个物体上时就形成了负静电,但无论是正静电还是负静电,当带静电物体接触零电位物体(接地物体)或与其有电位差的物体时都会发生电荷转移,就是我们日常见到火花放电现象。

二、静电对电子工业的影响
集成电路元器件的线路缩小,耐压降低,线路面积减小,使得器件耐静电冲击能力的减弱,静电电场和静电电流成为这些高密度元器件的致命杀手。同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用,导致产生静电的机会大增。日常生活中如走动,空气流动,搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的芯片纔对静电敏感,实际上,集成度高的元器件电路都很敏感。

三、静电对电子组件的影响
1、 静电吸附灰尘,改变线路间的阻抗,影响产品的功能与寿命。
2、 因电场或电流破坏组件的绝缘或导体,使组件不能工作(完全破坏)。
3、 因瞬间的电场或电流产生的热,组件受伤,仍能工作,寿命受损。

四、静电防护  
作业人员:人是静电的最大来源。人员的走动、作业都会产生静电,在与微电子器件接触或靠近时都可能产生静电放电。要减少人员的因素,必须穿着防静电衣物、手套与防静电鞋,佩戴防静电手环/脚环并可靠接地。养成良好的作业习惯,在无防静电措施或措施不完备的情况下远离静电敏感产品。
设备:为了提高企业的生产能力,自动化设备被应用在许多过程中,这些设备的运行将产生大量的静电。在微电子器件的加工中,各种过程都会释放静电,大量微电子器件会失效。所有设备、仪器、作业台、凳子、货架都需要可靠接地。移动的周转小车等也要通过安装静电释放链接地。
材料:操作环境中使用抗静电/导静电材料做成工作台面、周转/包装箱。
环境:静电的产生与环境湿度成正比,即湿度越大静电的产生越少。但高湿度的环境容易造成生锈、腐蚀,综合考虑,一般电子生产车间湿度保持在30%-70%RH。另外,也可以使用离子风扇来中和静电荷。

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