在半导体芯片制造过程中,对生产环境的洁净度要求极高,必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路,控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量,以保证产品质量和提升产品良率,特别是对于0.1μm粒子的检测至关重要。
在半导体芯片生产过程中,尘埃粒子计数器主要应用于:
1、制造工艺检测:在晶圆的光刻、涂胶显影、刻蚀等多个工艺环节中,使用粒子计数器检测环境中的尘埃粒子,确保工艺的精确性。
2、高端封装过程:在晶圆切割封装过程中,粒子计数器同样发挥着关键作用,保证封装质量。
3、半导体设备生产工艺的质量监测:通过粒子计数器对设备工艺点进行监控,确保生产过程的稳定性和产品质量。
参考法规和标准:
尘埃粒子计数器满足洁净室悬浮粒子测试方法的要求,适用于各种洁净室环境。
伟德国际BETVlCTOR1946推出的小型尘埃粒子计数器IE160A,同时监测0.1μm和0.3μm的单位体积内的微小粒子个数,也可作为传感器嵌入生产设备实时监测作业现场的超微粒子,为净化作业环境的洁净度评定提供依据,为芯片制造保驾护航!
超小型尘埃粒子计数器,颠覆性的技术革新,不仅将经典品质传承,而且完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中。
既往产品尺寸难以嵌入半导体制造装备中使用,本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
致轻、致小,采样量2.83L/min,同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子,彩色触摸屏显示屏。