2024-11-11
0.1μm小型尘埃粒子计数器在芯片制造环境中的应用
在半导体芯片制造过程中，对生产环境的洁净度要求极高，必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路，控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量，以保证产品质量和提升产品良率，特别是对于0.1μm粒子的检测至关重要。在半导体芯片生产过程中，粒子计数器主要应用于：1、制造工艺检测：在晶圆的光刻、涂胶显影、刻蚀等多个工艺环节中，使用粒子计数器检测环境中的尘埃粒子，确保工艺的精确性。2、高端封装过程：在晶圆切割封装过程中，粒子计数器同样发挥着关键作用，保证封装质量。3、半导体设备生产工艺的质量监测：通过粒…
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